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            磷烷混合氣





            磷烷(PH3)混合氣 

            為了使濃度低于100%,可以用氬氣、氦、氫或氮氣稀釋砷烷。用這種形式的砷烷可以增加工藝控制的復合度,尤其沉積非常少量的磷時。

            說明

            氣瓶接頭:CGA-350

            摻雜濃度:能夠與特大規?;虺笠幠<壠胶鈿饣旌?/span>

            砷烷

            濃度

            氣瓶

            尺寸

            壓力

            psig

            Ft3

            M3

            Ft3

            M3

            Ft3

            M3

            Ft3

            M3

            5ppm-23%

            044

            016

            1800

            1800

            200

            75

            5.66

            2.12

            175

            66

            4.95

            1.87

            175

            66

            4.95

            2.12

            187

            70

            5.30

            1.98

            因為磷烷有一個較低的蒸汽壓力,比上述更高濃度的壓力低于上述值。為了避免磷烷的液化,只有一個最大的量裝入氣瓶內。為了得到更高的濃度,增加較少的平衡氣

             

            硅烷平衡磷烷

            濃度

            氣瓶

            尺寸

            壓力

            Psig

            容量

            Ft3

            M3

            1-20%

            049

            044

            016

            875

            875

            875

            148

            133

            50

            4.19

            3.771

            1.42

             

            交通運輸部裝運說明

            氫平衡

            濃度

            裝運名稱

            裝運文件

            裝運標簽

            >10%

            _%磷烷/氫氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃,(_%磷烷/氫氣混合氣)2.3 UN1953,危險區域A

            有毒氣體

            易燃氣體

            10-2%

            _%磷烷/氫氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃,(_%磷烷/氫氣混合氣)2.3 UN1953,危險區域B

            有毒氣體

            易燃氣體

            2-0.67%

            _%磷烷/氫氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃,(_%磷烷/氫氣混合氣)2.3 UN1953,危險區域C

            有毒氣體

            易燃氣體

            0.67-0.4%

            _%磷烷/氫氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃,(_%磷烷/氫氣混合氣)2.3 UN1953,危險區域D

            有毒氣體

            易燃氣體

            <4000ppm

            _ppm磷烷/氫氣混合氣

            壓縮氣體,有毒,易燃,

            (_ppm磷烷/氫氣混合氣)2.1 UN1954

            易燃氣體

            氬、氦、氮平衡

            濃度

            裝運名稱

            裝運文件

            裝運標簽

            >10%

            _%磷烷/氮氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃(_%磷烷/氮氣混合氣)2.3  UN1953,危險區域A

            有毒氣體

            易燃氣體

            10-2%

            _%磷烷/氮氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃(_%磷烷/氮氣混合氣)2.3  UN1953,危險區域B

            有毒氣體

            易燃氣體

            2-0.7%(Ar)

            2-0.9%(He)

            2-1.2%(N2)

            _%磷烷/氮氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃(_%磷烷/氮氣混合氣)2.3  UN1953,危險區域C

            有毒氣體

            易燃氣體

            0.7-0.67%(Ar)

            0.9-0.67%(He)

            1.2-0.67%(N2)

            _%磷烷/氮氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃(_%磷烷/氮氣混合氣)2.3  UN1953,危險區域C

            有毒氣體

             

            0.67-0.4%

            _%磷烷/氮氣混合氣,吸入危害

            壓縮氣體,有毒,易燃(_%磷烷/氮氣混合氣)2.3  UN1953,危險區域D

            有毒氣體

            <4000ppm

            _ppm磷烷/氮氣混合氣

            壓縮氣體(_ppm磷烷/氮氣混合氣)2.2UN1956

            不燃氣體







             







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