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            砷烷混合氣(arsineAsH3/平衡氣)





            砷烷是一種劇毒、極易燃、無色、不穩定、與氫、氮、氬、氦混合出售的氣體。該氣體有令人作嘔甜味。吸入或皮膚吸收會造成死亡。純乙硼烷會自燃。 乙硼烷在混合狀態下儲存于不同規格的鋼瓶中

            容器、充裝量及相關數據
            硼烷 容器 充裝壓力 稀釋氣Ar 稀釋氣He 稀釋氣H2 稀釋氣N2
            濃度 L Mpa m3 m3 m3 m3
            5ppm-10% 47 50~14.5 2.35-7.33 2.30-6.38 2.30-6.38 2.44-6.79
            40 50~14.5 2.0-6.24 2.00-5.43 2.00-5.43 2.07-5.78
            16 50~14.5 0.8-2.49 0.78-2.27 0.78-2.27 0.83-2.31
            8 50~14.5 0.4-1.24 0.40-1.13 0.40-1.13 0.42-1.16
            4 50~14.5 0.2-0.62 0.20-0.57 0.20-0.57 0.20-0.58

            含量名稱 ELECTRONIC
            B2H6 99.998%min
            CO2 ﹤5ppm
            O2 ﹤1ppm
            N2 ﹤10ppm
            THC ﹤5ppm








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