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二氟化氙(XeF2)
化學式
XeF2
中文名稱
二氟化氙
英文名稱
Xenon difluoride
CAS No.
13709-36-9
分子量
169.289806
充裝系數
應用
在MEMS 的蝕刻工藝中,二氟化氙(XeF2)氣態 被用于去除硅的犧牲區域。通常與無水氟化氫(HF)搭配使用。
產品規格
≥99.999%
百科:
二氟化氙是一種無色固體,在室溫下容易升華而形成大的透明晶體。二氟化氙蒸汽是無色的,具有令人發嘔的惡臭。它是極強的氧化劑,可使許多有機、無機化合物氟化而放出氙,可從氯化氫中釋放氯氣,將碘化鉀氧化成碘。它是一種選擇性很好的氟化試劑,在無機氟化物制備及有機合成中有廣泛的應用。
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三甲基硼 TMB/Trimethylboron
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